International workshop on "Micro process engineering and nanotechnology applications", 27-28 April 2010, Novosibirsk, Russian Federation : proceedings / The Six Intern. exhibition a. sci. congr. "Geo-Siberia - 2010", 27-29 April 2010, Novosibirsk, Russian Federation [etc.]
Язык: английский.Выходные данные: Novosibirsk : SSGA, 2010Физическая характеристика: 149 с. : ил., портр. ; 20 см.Примечания: В надзаг. также: Inst. for micro process engineering (IMVT), Karlsruhe inst. of technology , Germany, Kutateladze inst. of thermophysics SB RAS, Russ. Federation, Siberian state acad. of geodesy (SSGA).Библиография: Библиогр. в конце докл..Предметная рубрика - Тема: Микроэлектроника -- Съезды, совещания и т.п. | Нанотехнологии -- Съезды, совещания и т.п. Другие классификации: З844.1я431(0) ; Ж6я431(0)Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Примечания | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Иностранный книжный фонд | Ик 2010-3/782 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | ; | 1093497 |
В надзаг. также: Inst. for micro process engineering (IMVT), Karlsruhe inst. of technology , Germany, Kutateladze inst. of thermophysics SB RAS, Russ. Federation, Siberian state acad. of geodesy (SSGA)
Библиогр. в конце докл.