Расчет вакуумных систем технологического оборудования : учебно-методическое пособие / Е. А. Деулин, В. П. Михайлов, А. М. Базиненков ; Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет)", Факультет "Машиностроительные технологии", Кафедра "Электронные технологии в машиностроении"
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Изд-во МГТУ, 2022Физическая характеристика: 100, [1] с. : ил. ; 21 см.ISBN: 978-5-7038-5813-4 Серия: Учебно-методическое пособие МГТУ им. Н. Э. Баумана Резюме: Рассмотрены методы выбора средств откачки и разработки принципиальных вакуумных схем. Приведены методика расчета длительности этапов откачки, построения технологических диаграмм и графиков изменения давления в приборе или технологической камере, а также методы расчета сорбционных процессов при определении длительности сверхвысоковакуумной и высоковакуумной откачки. Для самостоятельной работы и выполнения домашнего задания по дисциплине <Физика вакуума> студентами бакалавриата, обучающимися по направлениям подготовки <Электроника и наноэлектроника> и <Наноинженерия>.Библиография: Библиогр.: с. 74.Предметная рубрика - Тема: Вакуумные системы -- Расчет -- Учебно-методические пособия для высших учебных заведений УДК: 621.52(075.8), 4Другие классификации: ( rubbks ) 31.77я73 ; З77-5-02я73-1 Тип экземпляра: КнигаТип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
---|---|---|---|---|---|---|---|
Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж, Хран. | 2022-3/17923 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | КН-П-1955 | Доступно | 1-3890507 | ||
Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж, Хран. | 2022-3/17923 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | КН-П-1955 | Доступно | 1-3890508 |
Библиогр.: с. 74
Рассмотрены методы выбора средств откачки и разработки принципиальных вакуумных схем. Приведены методика расчета длительности этапов откачки, построения технологических диаграмм и графиков изменения давления в приборе или технологической камере, а также методы расчета сорбционных процессов при определении длительности сверхвысоковакуумной и высоковакуумной откачки. Для самостоятельной работы и выполнения домашнего задания по дисциплине <Физика вакуума> студентами бакалавриата, обучающимися по направлениям подготовки <Электроника и наноэлектроника> и <Наноинженерия>