Российская национальная библиография

Описание RUSMARC Карточка
Книга

Расчет вакуумных систем технологического оборудования : учебно-методическое пособие / Е. А. Деулин, В. П. Михайлов, А. М. Базиненков ; Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет)", Факультет "Машиностроительные технологии", Кафедра "Электронные технологии в машиностроении"

Автор: Деулин, Евгений АлексеевичАвтор (Альтер.): Михайлов, Валерий Павлович;Базиненков, Алексей МихайловичЯзык: русский.Выходные данные: Москва : Изд-во МГТУ, 2022Физическая характеристика: 100, [1] с. : ил. ; 21 см.ISBN: 978-5-7038-5813-4 Серия: Учебно-методическое пособие МГТУ им. Н. Э. Баумана Резюме: Рассмотрены методы выбора средств откачки и разработки принципиальных вакуумных схем. Приведены методика расчета длительности этапов откачки, построения технологических диаграмм и графиков изменения давления в приборе или технологической камере, а также методы расчета сорбционных процессов при определении длительности сверхвысоковакуумной и высоковакуумной откачки. Для самостоятельной работы и выполнения домашнего задания по дисциплине <Физика вакуума> студентами бакалавриата, обучающимися по направлениям подготовки <Электроника и наноэлектроника> и <Наноинженерия>.Библиография: Библиогр.: с. 74.Предметная рубрика - Тема: Вакуумные системы -- Расчет -- Учебно-методические пособия для высших учебных заведений УДК: 621.52(075.8), 4Другие классификации: ( rubbks ) 31.77я73 ; З77-5-02я73-1 Тип экземпляра: Книга
Параметры
    Средний рейтинг: 0.0 (0 голосов)
Экземпляры
Тип экземпляра Текущая библиотека Шифр хранения Кол-во копий Статус Срок возврата Штрих-код
Книга РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж, Хран. 2022-3/17923 (Просмотр полки(Открывается ниже)) КН-П-1955 Доступно 1-3890507
Книга РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж, Хран. 2022-3/17923 (Просмотр полки(Открывается ниже)) КН-П-1955 Доступно 1-3890508

Библиогр.: с. 74

Рассмотрены методы выбора средств откачки и разработки принципиальных вакуумных схем. Приведены методика расчета длительности этапов откачки, построения технологических диаграмм и графиков изменения давления в приборе или технологической камере, а также методы расчета сорбционных процессов при определении длительности сверхвысоковакуумной и высоковакуумной откачки. Для самостоятельной работы и выполнения домашнего задания по дисциплине <Физика вакуума> студентами бакалавриата, обучающимися по направлениям подготовки <Электроника и наноэлектроника> и <Наноинженерия>