Термическое оборудование полупроводникового и микроэлектронного производства с лучистым инфракрасным нагревом : Ч. 1-2 / М-во электронной пром-сти СССР. ЦНИИ "Электроника"
Тома: Показать записиЯзык: русский.Выходные данные: Москва : Б. и., 1975Физическая характеристика: 21 см.Серия: Обзоры по электронной технике Примечания: На обл. авт.: Д.Б. Зворыкин, В.Е. Александров, Б.Л. Байкальцев [и др.]. Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
На обл. авт.: Д.Б. Зворыкин, В.Е. Александров, Б.Л. Байкальцев [и др.]