Микроэлектромеханические системы : учебное пособие для студентов физико-технических специальностей университетов / В. А. Гуртов, М. А. Беляев, А. Г. Бакшеева ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования Петрозаводский государственный университет
Язык: русский.Выходные данные: Петрозаводск : Изд-во ПетрГУ, 2016Физическая характеристика: 141, [1] с. : ил., портр., табл. ; 24 см.ISBN: 9785802129258 Примечания: В конце кн. 1-й авт.: В. А. Гуртов, д. ф.-м. н., проф., засл. деят. науки Республики Карелия, засл. работник высш. шк. Рос. Федерации.Библиография: Библиогр.: с. 135-140 (97 назв.); Предм. указ.: с. 141.Предметная рубрика - Тема: Микроэлектромеханические системы -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: З26я73-1 ; З291я73-1 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
В конце кн. 1-й авт.: В. А. Гуртов, д. ф.-м. н., проф., засл. деят. науки Республики Карелия, засл. работник высш. шк. Рос. Федерации
Библиогр.: с. 135-140 (97 назв.)
Предм. указ.: с. 141