Уточнить поиск
Наличие
-
Авторы
- АН СССР, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов (3)
- Бешенков В.Г. (3)
- В.Г. Бешенков, В.С. Солдатов, Ю.А. Шиянов (1)
- В.Г. Бешенков, Ч.В. Копецкий, Ю.А. Шиянов (2)
- Копецкий Ч.В. Чеслав Васильевич (2)
- Солдатов В.С. (1)
- Шиянов Ю.А. (1)
- Шиянов Ю.А. Юрий Андреевич (2)
- Показать больше
- Показать меньше
-
Item types
- Книга (3)
-
Места хранения
-
Заглавие серии
- Препринт (3)
-
Коллекции
- NB (3)
-
Библиотека хранения
- РНБ (Московский) (3)
-
Языки
- русский (3)