Плазмохимические процессы в микроэлектронике / [Сост. Л.А. Бунькова, Л.В. Куратова]
Язык: русский.Выходные данные: Москва : ЦНИИ "Электроника", 1978Физическая характеристика: 38 с. ; 21 см.Серия: Тематические указатели литературы ; Вып. 229Примечания: В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Садовая) Русский книжный фонд -Главное здание, Ленинский читальный зал | С П-1/303 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6481635-10 |
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР