Уточнить поиск
Наличие
-
Авторы
- А. А. Голишников, И. В. Сагунова, В. И. Шевяков (1)
- А. А. Голишников, М. Г. Путря (1)
- А.А. Голешников, М.Г. Путря (1)
- А.А. Голишников, М.Г. Путря (2)
- Голишников А А (1)
- Голишников А. А. Александр Анатольевич (5)
- М-во образования и науки Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электр. техники (техн. ун-т) (2)
- М-во образования и науки Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т) (1)
- Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Национальный исследовательский университет "МИЭТ" (2)
- Путря М Г 070 (1)
- Путря М. Г. Михаил Георгиевич (1)
- Путря М. Г. Михаил Георгиевич 070 (3)
- Сагунова И. В. Ирина Владимировна (1)
- Шевяков В. И. Василий Иванович (1)
- Показать больше
- Показать меньше
-
Item types
- Книга (6)
-
Места хранения
-
Заглавие серии
-
Предметные рубрики
- Интегральные схемы (2)
- Интегральные схемы полупроводниковые (1)
- Кремний (1)
- Материалы (1)
- Микросистемная техника (1)
- Осаждение из плазмы (1)
- Плазменная обработка (1)
- Плазменные методы (3)
- Плазмохимические методы (1)
- Пленки наноразмерные (1)
- Производство (5)
- Сверхбольшие интегральные схемы (2)
- Технологические процессы (1)
- Учебно-методические пособия для высших учебных заведений (1)
- Учебные издания для высших учебных заведений (4)
- Учебные издания для высших учебных заведенийnlr_sh1 (1)
- Показать больше
- Показать меньше
-
Коллекции
-
Библиотека хранения
- РНБ (Московский) (5)
-
Языки
- русский (6)