Устройства и методы фотометрического контроля в технологии производства ИС
Язык: русский.Выходные данные: М. : Радио и связь, 1981Физическая характеристика: 112 с. : ил. ; 20 см.Серия: Массовая библиотека инженера "Электроника" ; 26Библиография: Библиогр.: с. 105-108 (66 назв.). Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 81-3/7922 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6202187-10 |
Библиогр.: с. 105-108 (66 назв.)