Атомно-молекулярная технология и диагностика : Учеб. пособие; [Для студентов, обучающихся по направлению 550700 - "Электроника и микроэлектроника", по спец. 200100 - "Материалы и компоненты твердотел. электроники", 200200 - "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы", 200300 - "Электрон. приборы и устройства" / В.В. Лучинин, А.Н. Дунаев, А.З. Казак-Казакевич и др.] ; М-во общ. и проф. образования Рос. Федерации, С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т
Язык: русский.Выходные данные: СПб. : СПбГЭТУ, 1998Физическая характеристика: 56 с. : ил. ; 20 см.Библиография: Библиогр.: с. 54-55.Предметная рубрика - Тема: Нанотехнологии -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы | Нанотехнологии -- Учебные издания для высших учебных заведений | Тонкие пленки -- Техническая диагностика -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы | Тонкие пленки -- Техническая диагностика -- Учебные издания для высшей школы Другие классификации: З844.1-082.051я73-1 Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж | 99-4/4512 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 36395-10 |
нанотехнология
Библиогр.: с. 54-55