Осаждение тонкопленочных элементов микросхем в вакууме : Обзор по зарубежным источникам / М-во радиопром-сти СССР
Сводное описание: Язык: русский.Выходные данные: Б. м. : Б. и., 1965Физическая характеристика: 58 с. : ил. ; 21 см.Серия: Обзоры состояния отдельных вопросов радиоэлектроники ; Вып. 106Примечания: Отпеч. множит. аппаратом.Библиография: Библиогр.: с. 54-55.Особенности распространения и использования: Экз. № 220. Тип экземпляра: ВыпускНет реальных экземпляров для этой записи
Отпеч. множит. аппаратом
Библиогр.: с. 54-55
Экз. № 220