Подробности: Вопросы прецизионных тепловых процессов в ЧПП , Материалы к 3-ей науч.-техн. конф. "Экология микроэлектроники-90"

Книга

Вопросы прецизионных тепловых процессов в ЧПП : Материалы к 3-ей науч.-техн. конф. "Экология микроэлектроники-90" / И.С. Калинина, В.И. Каракеян, Н.Ф. Личу ; Под ред. д. т. н., проф. Ушакова В.И.

Автор: Калинина, Ирина СерафимовнаАвтор (Альтер.): Каракеян, Валерий Иванович ;
Личу, Н. Ф.Организация (Вторич.): "Экология микроэлектроники-90", науч.-техн. конф. (3 ; Москва)Язык: русский.Выходные данные: М. : МИЭТ, 1990Физическая характеристика: 96 с. : ил. ; 20 см.Примечания: На 2-й с. авт.: Калинина И.С., к. т. н., доц. Каракеян В.И., к. б. н. Личу Н.Ф.; В надзаг.: Гос. ком. СССР по нар. образованию, Моск. ин-т электрон. техники.Библиография: Библиогр.: с. 96.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга

Экземпляры
Тип экземпляра	Текущая библиотека	Шифр хранения	Статус	Срок возврата	Штрих-код
Книга	РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года	91-4/9711 (Просмотр полки(Открывается ниже))	Доступно		5541263-10

На 2-й с. авт.: Калинина И.С., к. т. н., доц. Каракеян В.И., к. б. н. Личу Н.Ф.

В надзаг.: Гос. ком. СССР по нар. образованию, Моск. ин-т электрон. техники

Библиогр.: с. 96