Комплексно-механизированные линии и системы в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем / М-во электронной пром-сти СССР. ЦНИИ "Электроника"
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Б. и., 1974Физическая характеристика: 56 с. : ил. ; 21 см.Серия: Зарубежная электронная техника ; 6 (78)Примечания: На 3-й с. авт.: П.Н. Масленников, В.Ф. Овчаров, Г.И. Холин.Библиография: Библиогр.: с. 54-56. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П11/2814 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 7878011-10 |
На 3-й с. авт.: П.Н. Масленников, В.Ф. Овчаров, Г.И. Холин
Библиогр.: с. 54-56