Исследование рассеяния ВЧ мощности в плазме SF6 в планарном диодном реакторе промышленного типа
Язык: русский.Выходные данные: М. : Б. и., 1995Физическая характеристика: 11, [6] с. : ил. ; 20 см.Серия: Препринт ; 13Примечания: Рез. на англ. яз..Библиография: Библиогр.: с. 11. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж | 96-4/565 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5350723-10 |
Рез. на англ. яз.
Библиогр.: с. 11