Ионно-плазменные технологии в микро- и наноэлектронике = Ion-plasma technologies in micro- and nanoelectronics / А. С. Пащенко, П. С. Пляка, В. О. Пономаренко ; Рос. акад. наук, Юж. науч. центр
Параллельное заглавие: : z48790Ion-plasma technologies in micro- and nanoelectronics, английскийЯзык: русский ; резюме, английский ; оглавления, английский.Выходные данные: Ростов-на-Дону : Изд-во ЮНЦ РАН, 2013Физическая характеристика: 175 с. : ил., табл. ; 22 см.ISBN: 9785435800579 Примечания: Авт. также на англ. яз.: Paschenko A.S., Plyaka P.S., Ponomarenko V.O.; Рез. на англ. яз.; На тит. л.: Юж.науч. центр Рос. акад. наук, 10 лет.Библиография: Библиогр.: с. 168-175 (85 назв.).Предметная рубрика - Тема: Тонкие пленки -- Ионно-плазменное нанесение Неконтролируемые предметные термины: плазменная обработка тонкоплёночных покрытий УДК: 621.38Другие классификации: З844.13-060.7 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Авт. также на англ. яз.: Paschenko A.S., Plyaka P.S., Ponomarenko V.O.
Рез. на англ. яз.
На тит. л.: Юж.науч. центр Рос. акад. наук, 10 лет
Библиогр.: с. 168-175 (85 назв.)