Технология размерной обработки полупроводниковых материалов : Учеб. пособие / А.Н. Комов, А.И. Колпаков, Б.Д. Рафаевич, Л.Л. Дорофеев ; Куйбышев. гос. ун-т
Язык: русский.Выходные данные: Куйбышев : Куйбышев. ун-т, 1976Физическая характеристика: 83 с. : ил. ; 20 см.Библиография: Список лит.: с. 81-82.Предметная рубрика - Тема: Полупроводники -- Обработка Тип экземпляра: КнигаТип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
---|---|---|---|---|---|---|
Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж, Хран. | 77-4/9951 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 7330387-10 |
Список лит.: с. 81-82