Подробности: Методы контроля нарушенных слоев при механической обработке монокристаллов

Книга

Методы контроля нарушенных слоев при механической обработке монокристаллов / [А.И. Татаренков, К.Л. Енишерлова, Т.Ф. Русак, В.Н. Гриднев]

Автор (Альтер.): Русак, Т.Ф.;Гриднев, В.Н.;Енишерлова-Вельяшева, Кира Львовна (1937-);Татаренков, А.И.Язык: русский.Выходные данные: Москва : Энергия, 1978Физическая характеристика: 64 с. : ил. ; 20 см.Серия: Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры ; Вып. 13Библиография: Список лит.: с. 59-63 (70 назв.).Предметная рубрика - Тема: Полупроводники -- Обработка -- Технический контроль Тип экземпляра: Книга

Экземпляры
Тип экземпляра	Текущая библиотека	Шифр хранения	Статус	Срок возврата	Штрих-код
Книга	РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж, Хран.	78-4/28082 (Просмотр полки(Открывается ниже))	Доступно		6693257-20

Список лит.: с. 59-63 (70 назв.)