Метод эллипсометрии для исследования наноразмерных пленок диэлектриков, полупроводников и металлов / С. Н. Свиташёва ; ответственный редактор: доктор физико-математических наук О. П. Пчеляков ; Российская академия наук, Сибирское отделение, Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова
Язык: русский.Выходные данные: Новосибирск : Изд-во Сибирского отделения Российской академии наук, 2019Физическая характеристика: 261, [6] с. : ил., табл., цв. ил. ; 26 см.ISBN: 9785604285688; 978-5-7692-1643-5 Примечания: На 4-й с. обл. авт.: С. Н. Свиташёва, д.ф.-м.н..Библиография: Библиогр.: с. 245-261 и в подстроч. примеч..Предметная рубрика - Тема: Тонкие пленки -- Эллипсометрия | Полупроводниковые пленки | Диэлектрические пленки | Металлические пленки | Пленки наноразмерные Неконтролируемые предметные термины: эллипсометрия | наноразмерные пленки Другие классификации: З844.13-01с343.54 ; К202.6 ; Г582 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
На 4-й с. обл. авт.: С. Н. Свиташёва, д.ф.-м.н.
Библиогр.: с. 245-261 и в подстроч. примеч.