Реакторы для осаждения слоев кремния из газовой фазы : По данным отеч. и зарубеж. печати за 1967-1977 гг. / [В.И. Иванов, Н.И. Николайкин, Э.Б. Сигалов]
Тома: Показать записиЯзык: русский.Выходные данные: Москва : ЦНИИ "Электроника", 1977Физическая характеристика: 21 см.Серия: Обзоры по электронной технике Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи