Лазерно-индуцированная генерация поверхностного микрорельефа при пиролитическом травлении и осаждении металлов полупроводников диэлектриков и фотохимическом травлении полупроводников / В.Я. Панченко, В.Н. Семиногов, Л.И. Худобенко
Язык: русский.Выходные данные: Троицк : Б. и., 1987Физическая характеристика: 32 с. : ил. ; 20 см.Серия: Препринт ; 37Примечания: Рез. на англ. яз..Библиография: Библиогр.: с. 31-32. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 89-4/2856 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5736605-10 |
Рез. на англ. яз.
Библиогр.: с. 31-32