Вакуумные загрузочные шлюзы в оборудовании электронной промышленности / М-во электронной пром-сти СССР. ЦНИИ "Электроника"
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Б. и., 1973Физическая характеристика: 24 с. : ил. ; 21 см.Серия: Обзоры по электронной технике ; Вып. 140Примечания: Перед загл. авт.: И.Г. Блинов, В.А. Пупко, В.С. Черепащук.Библиография: Библиогр. : с. 23. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П51/94 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 7615568-10 |
Перед загл. авт.: И.Г. Блинов, В.А. Пупко, В.С. Черепащук
Библиогр. : с. 23