Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем / И.А. Белов, В.А. Шеленшкевич, Л.И. Шуб
Язык: русский.Выходные данные: Л. : Политехника, 1991Физическая характеристика: 287, [1] с. : ил. ; 22 см.ISBN: 5732500014 Примечания: Перед вып. дан. 3-й авт.: Шуб Леонид Исаакович.Библиография: Библиогр.: с. 283-286 (77 назв.). Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Перед вып. дан. 3-й авт.: Шуб Леонид Исаакович
Библиогр.: с. 283-286 (77 назв.)