Технологические процессы и оборудование производства электронных средств. Ч. 1: Вакуумно-плазменные процессы и оборудование
Сводное описание: Технологические процессы и оборудование производства электронных средств : учебное пособие : [для студентов направления 210100 "Электроника и наноэлектроника"]Язык: русский.Выходные данные: 2011Физическая характеристика: 167 с. : ил.ISBN: 9785725606300 Библиография: Библиогр.: с. 164 (14 назв.).Предметная рубрика - Тема: Электронные приборы -- Производство -- Вакуумное оборудование -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: З86-06-5я73-1 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 164 (14 назв.)