Синхротронное излучение в микроэлектронике. Ч. 1: Свойства синхротронного излучения и его применение в технологических процессах : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1985-1989 гг.)
Сводное описание: Синхротронное излучение в микроэлектронике : Язык: русский.Выходные данные: 1989Физическая характеристика: 60 с. : ил.Серия: ; Вып. 1498Библиография: Библиогр.: с. 58-60. Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 58-60