Новые применения лучистой энергии в микроэлектронике. Ч. 1: Физико-технические основы : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1973-1981 гг.)
Сводное описание: Новые применения лучистой энергии в микроэлектронике : Язык: русский.Выходные данные: 1981Физическая характеристика: 58 с. : ил.Серия: ; Вып. 840Библиография: Библиогр.: с. 54-57. Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 54-57