000 02106nam0a2200337 4500
001 RU\NLR\bibl\479120
005 20260409065633.0
010 _a5-7925-0130-0
_9150
035 _a(NLR Aleph) 000472071
090 _a1000021
_c1000021
100 _a20040113d2003 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aМатериалы, оборудование и технологии наноэлектроники и микрофотоники
_dMaterials, equipment and technologies for nanoelectronics and microphotonics
_eПо материалам шк. (Улан-Удэ, БНЦ СО РАН, 2003, 7-11 июля)
_f[Под ред. д.т.н. А.Ф. Белянина и др.]
_zeng
210 _aУлан-Удэ
_cИзд-во БНЦ СО РАН
_d2003
215 _a357 с.
_cил.
_d22
300 _aВ надзаг.: Рос. агентство по системам упр. ОАО Центр. науч.-исслед. технолог. ин-т "Техномаш", г. Москва, Рос. акад. наук. Сиб. отд-ние. Отдел физ. проблем при Президиуме Бурят. науч. центра СО РАН, г. Улан-Удэ
320 _aБиблиогр. в конце разд.
510 0 _aMaterials, equipment and technologies for nanoelectronics and microphotonics
_zgol
606 0 _aРадиоэлектронная аппаратура миниатюрная
_jСъезды, совещания и т.п.
_91408792
_3RU\NLR\auth\66281576
606 _aОптоэлектроника
_jСъезды, совещания и т.п.
_3RU\NLR\auth\6652305
_9983656
686 _aЗ844.1я431
686 _aЗ854.3я431
702 1 _aБелянин
_bА. Ф.
_gАлексей Федорович
_4340
801 0 _aRU
_bNLR
_c20040113
_gPSBO
801 1 _aRU
_bNLR
_c20040113
942 _cBOOK
980 _aNB