000 01874nam0a2200325 i 4500
001 RU\NLR\BIBL_A\010467046
005 20241102043202.0
010 _a9785321023594
_950
021 _aRU
_b2014-51905
_93143
035 _a(NILC)RuMoRGB-007522882
035 _a(NLR Aleph) 010467046
090 _a10006311
_c10006311
100 _a20140925d2014 u y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _ay|||z|||000yy
200 1 _aИонная модификация функциональных материалов
_eучебное пособие для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 210100 "Электроника и наноэлектроника", 200100 "Приборостроение"
_fД. А. Зацепин, И. А. Вайнштейн, С. О. Чолах
_gМ-во образования и науки Российской Федерации, Уральский федеральный ун-т им. первого Президента России Б. Н. Ельцина, Физико-технологический ин-т
210 _aЕкатеринбург
_cУральский федеральный ун-т
_d2014
215 _a104 с.
_cил.
_d21
320 _aБиблиогр.: с. 92-95
606 _aПолупроводники
_xИонная имплантация
_jУчебные издания для высших учебных заведений
_2nlr_sh1
_2nlr_sh2
_3RU\NLR\AUTH\66486018
_91200764
686 1 _aЗ843.308я73-1
700 1 _aЗацепин
_bД. А.
_gДмитрий Анатольевич
701 1 _aВайнштейн
_bИ. А.
_gИлья Александрович
701 1 _aЧолах
_bС.О.
_gСеиф Османович
801 0 _aRU
_bРГБ
_c20140721
_gRCR
942 _cBOOK
980 _aNBR