| 000 | 01874nam0a2200325 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\BIBL_A\010467046 | ||
| 005 | 20241102043202.0 | ||
| 010 |
_a9785321023594 _950 |
||
| 021 |
_aRU _b2014-51905 _93143 |
||
| 035 | _a(NILC)RuMoRGB-007522882 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 010467046 | ||
| 090 |
_a10006311 _c10006311 |
||
| 100 | _a20140925d2014 u y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _ay|||z|||000yy | ||
| 200 | 1 |
_aИонная модификация функциональных материалов _eучебное пособие для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 210100 "Электроника и наноэлектроника", 200100 "Приборостроение" _fД. А. Зацепин, И. А. Вайнштейн, С. О. Чолах _gМ-во образования и науки Российской Федерации, Уральский федеральный ун-т им. первого Президента России Б. Н. Ельцина, Физико-технологический ин-т |
|
| 210 |
_aЕкатеринбург _cУральский федеральный ун-т _d2014 |
||
| 215 |
_a104 с. _cил. _d21 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 92-95 | ||
| 606 |
_aПолупроводники _xИонная имплантация _jУчебные издания для высших учебных заведений _2nlr_sh1 _2nlr_sh2 _3RU\NLR\AUTH\66486018 _91200764 |
||
| 686 | 1 | _aЗ843.308я73-1 | |
| 700 | 1 |
_aЗацепин _bД. А. _gДмитрий Анатольевич |
|
| 701 | 1 |
_aВайнштейн _bИ. А. _gИлья Александрович |
|
| 701 | 1 |
_aЧолах _bС.О. _gСеиф Османович |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bРГБ _c20140721 _gRCR |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNBR | ||