| 000 | 01817nam0a2200361 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\480039 | ||
| 005 | 20250623192436.0 | ||
| 021 |
_aRU _b2003-62037 _93042 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 000472976 | ||
| 090 |
_a1005415 _c1005415 |
||
| 100 | _a20040115d2003 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aРасчет тормозного излучения в электронной литографии, его влияние на работу МОП-транзисторов и оценка вклада тормозного излучения в поглощенную энергию в резисте _fСилаков М.В., Бабушкин Г.А., Валиев К.А. и др. |
|
| 210 |
_aМ. _cМАКС Пресс _d2003 |
||
| 215 |
_a40 с. _cил. _d21 |
||
| 225 | 1 |
_aПрепринт _fФиз.-технол. ин-т Рос. акад. наук _vN 25 |
|
| 313 | _aтормозное рентгеновское изл. | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 37-40 (34 назв.) | ||
| 606 | 0 |
_aМОП-приборы _xПроизводство _xПрименение электронной литографии _92316655 _3RU\NLR\auth\661386155 |
|
| 606 | 0 |
_aМОП-приборы _xЭлектронные процессы _91630315 _3RU\NLR\auth\66720079 |
|
| 606 | 0 |
_aРезисты _xФизические свойства _xВлияние тормозного рентгеновского излучения _92316659 _3RU\NLR\auth\661386158 |
|
| 686 | _aЗ852.39-06 | ||
| 686 | _aЗ844.15-040.7-01 | ||
| 701 | 1 |
_aСилаков _bМ. В. _4070 |
|
| 701 | 1 |
_aБабушкин _bВ. А. _4070 |
|
| 701 | 1 |
_aВалиев _bК. А. _4070 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _c20040115 _gPSBO |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bNLR _c20040115 |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||