000			02951nam0a2200373 i 4500
001			RU\NLR\BIBL_A\010201717
005			20260405091619.0
010			_a9785733909745 _9100
021			_aRU _b2013-107677 _97466
035			_a(NILC)RuMoRGB-006724885
035			_a(NLR Aleph) 010201717
090			_a10247065 _c10247065
100			_a20140307d2013 u y0rusy50 ca
101	0		_arus
102			_aRU
105			_aa|||j|||001yy
200	1		_aМоделирование формирования глубоких структур в плазменных процессах микро-нанотехнологии _eучебное пособие _e[для студентов специальностей "Физическая электроника" (210101), "Микроэлектроника и твердотельная электроника" (210104), "Микросистемная техника" (210108) и студентов направлений подготовки "Нанотехнологии и микросистемная техника" (222900), "Электроника и наноэлектроника" (210100)] _fИ.И. Амиров, В.Ф. Лукичев, А.А. Мельников, А.С. Шумилов _gМ-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. гос. бюджет. образоват. учреждение высш. проф. образования "Моск. гос. техн. ун-т радиотехники, электроники и автоматики"
210			_aМосква _cФедеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный технический университет радиотехники, электроники и автоматики" _d2013
215			_a36 с. _cил. _d20
320			_aБиблиогр.: с. 32-34 (19 назв.)
606			_aИнтегральные схемы _jУчебные издания для высших учебных заведений _xПроизводство _91235370 _3RU\NLR\AUTH\66186470
675			_a621.38:533.9(075.8)
686	1		_aЗ844.15-06я73-1
701		1	_aАмиров _bИ. И. _gИльдар Искандерович
701		1	_7ca _8rus _aЛукичев _bВ. Ф. _gВладимир Фёдорович _9263003 _3RU\NLR\AUTH\770263059
701		1	_8rus _7ca _aМельников _bА. А. _cрадиотехник _gАлександр Александрович _3RU\NLR\AUTH\7732949 _915957
701		1	_aШумилов _bА. С. _gАндрей Станиславович
801		0	_aRU _bRuMoRKP _c20140113 _gRCR
801		2	_aRU _bРГБ _c20140129 _grcr
801		1	_aRU _bRuMoRKP _c20140113 _2rusmarc
942			_cBOOK
980			_aNBR