000 01693nam0a2200361 4500
001 RU\NLR\bibl\183716
005 20260407102049.0
010 _a5-7256-0273-7
_9100
021 _aRU
_b2001-21677
_91030
035 _a(NLR Aleph) 000180314
090 _a1040904
_c1040904
100 _a20010731d2000 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aНаучные основы разработки технологий и оборудования микроэлектроники
_eМежвуз. сб.
_fМ-во образования Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)
_gПод ред. В. В. Гусева и М. Л. Минкина
210 _aМ.
_cМИЭТ
_d2000
215 _a276 с.
_cил.
_d20
320 _aБиблиогр. в конце ст.
606 0 _aРадиоэлектронная аппаратура миниатюрная
_jСборники
_xПроизводство
_91835427
_3RU\NLR\auth\66830354
610 0 _aМикроэлектроника
675 _a621.382.049.77.002(082)
_v3
_zrus
686 _a47
_2rugasnti
686 _a32.844.1
_2rubbk
686 _aЗ844.1-06я43
702 1 _4340
_8rus
_7ca
_aГусев
_bВ. В.
_cд-р техн. наук
_gВладимир Владимирович
_3RU\NLR\auth\7732065
_915075
712 0 2 _4570
_aМосковский государственный институт электронной техники
_3RU\NLR\AUTH\889929878
_9355333
801 0 _aRU
_bRKP
_c20010731
_gPSBO
801 1 _aRU
_bRKP
_c20010731
801 2 _aRU
_bNLR
_c20120410
_grcr
942 _cBOOK
980 _aNB