| 000 | 01693nam0a2200361 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\183716 | ||
| 005 | 20260407102049.0 | ||
| 010 |
_a5-7256-0273-7 _9100 |
||
| 021 |
_aRU _b2001-21677 _91030 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 000180314 | ||
| 090 |
_a1040904 _c1040904 |
||
| 100 | _a20010731d2000 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aНаучные основы разработки технологий и оборудования микроэлектроники _eМежвуз. сб. _fМ-во образования Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т) _gПод ред. В. В. Гусева и М. Л. Минкина |
|
| 210 |
_aМ. _cМИЭТ _d2000 |
||
| 215 |
_a276 с. _cил. _d20 |
||
| 320 | _aБиблиогр. в конце ст. | ||
| 606 | 0 |
_aРадиоэлектронная аппаратура миниатюрная _jСборники _xПроизводство _91835427 _3RU\NLR\auth\66830354 |
|
| 610 | 0 | _aМикроэлектроника | |
| 675 |
_a621.382.049.77.002(082) _v3 _zrus |
||
| 686 |
_a47 _2rugasnti |
||
| 686 |
_a32.844.1 _2rubbk |
||
| 686 | _aЗ844.1-06я43 | ||
| 702 | 1 |
_4340 _8rus _7ca _aГусев _bВ. В. _cд-р техн. наук _gВладимир Владимирович _3RU\NLR\auth\7732065 _915075 |
|
| 712 | 0 | 2 |
_4570 _aМосковский государственный институт электронной техники _3RU\NLR\AUTH\889929878 _9355333 |
| 801 | 0 |
_aRU _bRKP _c20010731 _gPSBO |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bRKP _c20010731 |
|
| 801 | 2 |
_aRU _bNLR _c20120410 _grcr |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||