000 02021nam0a2200385 4500
001 RU\NLR\BIBL_A\010303344
005 201502120504
010 _a978-5-7262-1730-7
_9152
021 _aRU
_b2014-9309
_9585
035 _a(NLR Aleph) 010303344
035 _a(NILC)RuMoRGB-006743692
090 _a10604438
_c10604438
100 _a20140408d2012 u y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa|||j|||011yy
200 1 _aМоделирование технологии и параметров кремниевых наноразмерных транзисторных структур
_eучебное пособие для студентов высших учебных заведений
_fЮ.А. Воронов, С.Ю. Касков, О.Р. Мочалкина
_gМ-во образования и науки Рос. Федерации, Нац. исслед. ядер. ун-т "МИФИ"
210 _aМосква
_cНациональный исследовательский ядерный университет "МИФИ"
_d2012
215 _a79 с.
_cил.
_d20
225 1 _aУчебная книга инженера-физика
300 _aНа обл.: НИЯУ МИФИ, 70 лет, 1942-2012
320 _aБиблиогр.: с. 71-72 (18 назв.)
606 1 _aТранзисторы кремниевые
_jУчебные издания для высших учебных заведений
_2nlr_sh2
_3RU\NLR\AUTH\661527503
610 0 _aтранзисторы кремниевые наноразмерные
686 1 _aЗ852.3я73-1
700 1 _aВоронов
_bЮ. А.
_gЮрий Александрович
701 1 _aСасков
_bС. Ю.
_gСергей Юрьевич
701 1 _aМочалкина
_bО. Р.
_gОльга Романовна
801 0 _aRU
_bРГБ
_c20140221
_gRCR
801 1 _aRU
_bРГБ
_c20140221
_2rusmarc
942 _cBOOK
980 _aNBR
980 _aNB