000 01780nam0a2200325 i 4500
001 RU\NLR\BIBL_A\011276533
005 20260406012625.0
010 _a9785990698390
_9300
021 _aRU
_b2016-85428
_95590
035 _a(NLR Aleph) 011276533
090 _a10850664
_c10850664
100 _a20161123d2015 km y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa|||z|||000zy
200 1 _aФизика диэлектрических пленок
_eатомная и электронная структура
_fВ.А. Гриценко, Т.В. Перевалов
_gФедер. гос. бюджет. учреждение науки Ин-т физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН
210 _aНовосибирск
_cАвтограф
_d2015
215 _a232, [1] с.
_cил., цв. ил.
_d25
300 _aНа 4-й с. обл. авт.: В.А. Гриценко, д.ф.-м.н.,Т.В. Перевалов, к.ф.-м.н.
320 _aБиблиогр. в конце гл.
606 1 _aДиэлектрические плёнки
_xСтруктура
_92307357
_3RU\NLR\AUTH\6601607082
606 1 _aПолупроводники
_xДиэлектрическая проницаемость
_91941514
_3RU\NLR\AUTH\66887341
606 1 _aКремний
_xПолупроводниковые свойства
_92574339
_3RU\NLR\AUTH\661522187
686 1 _aЗ843.322.4
700 1 _7ca
_8rus
_aГриценко
_bВ. А.
_cд-р физ. мат. наук, физика полупроводников
_gВладимир Алексеевич
_9101051
_3RU\NLR\AUTH\77118126
701 1 _aПеревалов
_bТ. В.
_gТимофей Викторович
942 _cBOOK
980 _aNBR