000 01963nam0a2200325 i 4500
001 RU\NLR\BIBL_A\011318334
005 20260405131648.0
010 _a9785906855657
_943
021 _aRU
_b2016-100840
_96710
035 _a(NLR Aleph) 011318334
090 _a11063167
_c11063167
100 _a20170131d2016 u y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa j 000zy
200 1 _aДатчики давления. Технология изготовления полупроводниковых чувствительных элементов
_eучебное пособие
_fИ.Н. Баринов, С.И. Торгашин, Б.В. Цыпин, В.С. Волков
_gМ-во образования и науки РФ, Федер. гос. бюджет. образоват. учреждение высш. образования "Пенз. гос. ун-т" (ПГУ)
210 _aПенза
_cИзд-во ПГУ
_d2016
215 _a119, [1] с.
_cил.
_d21
320 _aБиблиогр.: с. 119120 (23 назв.)
517 1 _aТехнология изготовления полупроводниковых чувствительных элементов
606 1 _aДатчики давления полупроводниковые
_jУчебные издания для высших учебных заведений
_xПроизводство
_xТехнологическое проектирование
_92362356
_3RU\NLR\AUTH\661410592
686 1 _aЗ323-503-02я73-1
701 1 _aБаринов
_bИ. Н.
_gИлья Николаевич
701 1 _aТоргашин
_bС. И.
_gСергей Иванович
701 1 _aЦыпин
_bБ. В.
_gБорис Вульфович
701 1 _8rus
_7ca
_aВолков
_bВ. С.
_cинженер, техн. диагностика
_gВадим Сергеевич
_3RU\NLR\AUTH\7752636
_935569
942 _cBOOK
980 _aNBR