000 02013nam0a2200373 4500
001 RU\NLR\BIBL_A\011320153
005 20260409075518.0
010 _a978-5-317-05369-7
_9240
021 _aRU
_b2016-101286
_96742
035 _a(NLR Aleph) 011320153
090 _a11073157
_c11073157
100 _a20170203d2016 |||y0rusy50 ca
101 0 _aeng
_drus
102 _aRU
105 _aa z 101zy
200 1 _aProceedings of the International conference "Micro- and nanoelectronics - 2016", ICMNE - 2016, October 3-7, 2016, Moscow-Zvenigorod, Russia
_ebook of abstracts
_f[comp. V.P. Kudrya
_ged. by V.F. Lukichev]
210 _aMoscow
_cMaks press
_d2016
215 _a233 с., [2] л. цв. ил.
_cил.
_d29
300 _aВ вып. дан.: Труды Международной конференции Микро-и наноэлектроника - 2016: сборник тезисов, 3-7 октября, 2016 г., г. Звенигород, РФ
300 _aРез. на рус. яз.
320 _aБиблиогр. в конце ст.
320 _aУказ.: с. 224-233
517 1 _aТруды Международной конференции Микро-и наноэлектроника - 2016
_eсборник тезисов, 3-7 октября, 2016 г., г. Звенигород, РФ
606 1 _aМикроэлектроника
_jТезисы докладов
_92094897
_3RU\NLR\AUTH\661267605
606 _aНаноэлектроника
_jТезисы докладов
_3RU\NLR\AUTH\661468617
_92473046
686 1 _aЗ844.1я431(0)
702 1 _4220
_7ba
_8rus
_aKudrja
_bV. P.
_gVladimir Petrovič
_9263002
_3RU\NLR\AUTH\770263058
702 1 _4340
_7ba
_8rus
_aLukičev
_bV. F.
_gVladimir Fëdorovič
_9263029
_3RU\NLR\AUTH\770263085
710 1 2 _7ba
_8eng
_a"Micro- and nanoelectronics - 2016", international conference
_eZvenigorod
_9548673
_3RU\NLR\AUTH\880442372
942 _cBOOK
980 _aNB