000 01401nam0a2200337 4500
001 RU\NLR\BIBL_A\011660737
005 20180523102033.0
010 _a978-5-98901-188-9
_9350
021 _aRU
_bКН-П-18-010122
_9КН-П-18-0706
035 _a(NLR Aleph) 011660737
035 _a(RuMoRGB)009541601
090 _a11179708
_c11179708
100 _a20180319d2016 k y0rusy50 ca
101 0 _aeng
102 _aRU
105 _aa z 000zy
200 1 _aAtomically controlled silicon surface
_e[monography]
_fA. V. Latyshev, L. I. Fedina, D. I. Rogilo [et al.]
_gRzhanov institute of semiconductor physics, Siberian branch of Russian academy of sciences
210 _aNovosibirsk
_cParallel
_d2016
215 _a220 с.
_cил.
_d25
320 _aБиблиогр. в конце гл.
606 1 _aКремний
_xПоверхностные явления
_2nlr_sh1
_2nlr_sh2
_3RU\NLR\AUTH\66588146
686 _aВ379.225с1,0
_2rubbk
686 1 _aЗ843.322.406.3-1
701 1 _aLatyšev
_bA. V.
_cд-р физ.-мат. наук, физика
_gAleksandr Vasil'evič
_3RU\NLR\AUTH\770188995
701 1 _aFedina
_bL.I.
_gLjudmila Ivanovna
701 1 _aRogilo
_bD.I.
_gDmitrij Igorevič
830 _aАтомарно контролируемая поверхность кремния
942 _cBOOK
980 _aNB