| 000 | 02192nam0a2200373 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\BIBL_A\011661663 | ||
| 005 | 20240206124033.0 | ||
| 010 |
_a978-5-86889-773-3 _9200 |
||
| 021 |
_aRU _bКН-П-18-010074 _9КН-П-18-0702 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 011661663 | ||
| 035 | _a(RuMoRGB)009541523 | ||
| 090 |
_a11185183 _c11185183 |
||
| 100 | _a20180321d2017 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa z 000zy | ||
| 200 | 1 |
_aПрименение форвакуумных плазменных источников электронов для обработки диэлектриков _e[монография _fКлимов А. С., доктор технических наук, Медовник А. В., Юшков Ю. Г., , кандидаты технических наук, доценты и др.] _gМинистерство образования и науки Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники |
|
| 210 |
_aТомск _cИзд-во ТУСУРа _d2017 |
||
| 215 |
_a186, [2] с. _cил., табл. _d20 |
||
| 300 | _aАвт. указаны на обороте тит. л. и в конце кн. | ||
| 320 | _aБиблиогр. в конце разд. | ||
| 606 |
_aПлазменные источники электронов _91871098 _3RU\NLR\AUTH\66849420 |
||
| 606 |
_aДиэлектрики _xЭлектронно-лучевая обработка _92578893 _3RU\NLR\AUTH\6601735420 |
||
| 686 | 1 | _aЗ234.08 | |
| 701 | 1 |
_aКлимов _bА. С. _gАлесандр Сергеевич |
|
| 701 | 1 |
_aМедовник _bА. В. _gАлександр Владимирович |
|
| 701 | 1 |
_aЮшков _bЮ. Г. _gЮрий Георгиевич |
|
| 712 | 0 | 2 |
_4570 _aТомский государственный университет систем управления и радиоэлектроники _9542064 _3RU\NLR\AUTH\8810022033 |
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNBR | ||
| 980 | _aNB | ||