000 02192nam0a2200373 4500
001 RU\NLR\BIBL_A\011661663
005 20240206124033.0
010 _a978-5-86889-773-3
_9200
021 _aRU
_bКН-П-18-010074
_9КН-П-18-0702
035 _a(NLR Aleph) 011661663
035 _a(RuMoRGB)009541523
090 _a11185183
_c11185183
100 _a20180321d2017 k y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa z 000zy
200 1 _aПрименение форвакуумных плазменных источников электронов для обработки диэлектриков
_e[монография
_fКлимов А. С., доктор технических наук, Медовник А. В., Юшков Ю. Г., , кандидаты технических наук, доценты и др.]
_gМинистерство образования и науки Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
210 _aТомск
_cИзд-во ТУСУРа
_d2017
215 _a186, [2] с.
_cил., табл.
_d20
300 _aАвт. указаны на обороте тит. л. и в конце кн.
320 _aБиблиогр. в конце разд.
606 _aПлазменные источники электронов
_91871098
_3RU\NLR\AUTH\66849420
606 _aДиэлектрики
_xЭлектронно-лучевая обработка
_92578893
_3RU\NLR\AUTH\6601735420
686 1 _aЗ234.08
701 1 _aКлимов
_bА. С.
_gАлесандр Сергеевич
701 1 _aМедовник
_bА. В.
_gАлександр Владимирович
701 1 _aЮшков
_bЮ. Г.
_gЮрий Георгиевич
712 0 2 _4570
_aТомский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
_9542064
_3RU\NLR\AUTH\8810022033
942 _cBOOK
980 _aNBR
980 _aNB