| 000 | 02076nam0a2200373 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\BIBL_A\011099604 | ||
| 005 | 20260412042247.0 | ||
| 010 |
_a9785868897139 _9100 |
||
| 021 |
_aRU _b2016-23100 _91459 |
||
| 035 | _a(NILC)RuMoRGB-008256065 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 011099604 | ||
| 090 |
_a11412756 _c11412756 |
||
| 100 | _a20160411d2015 u y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa|||j|||000yy | ||
| 200 | 1 |
_aТехнология кремниевой наноэлектроники _eучебное пособие _eдля студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям 210100 "Электроника и наноэлектроника" и 222900 "Нанотехнологии и микросистемная техника" _fТ.И. Данилина, В.А. Кагадей, Е.В. Анищенко _gМ-во образования и науки Рос. Федерации, Том. гос. ун-т систем упр. и радиоэлектроники |
|
| 205 | _a2-е изд. | ||
| 210 |
_aТомск _cТУСУР _d2015 |
||
| 215 |
_a318 с. _cил., цв. ил. _d20 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 317-318 (23 назв.) | ||
| 606 |
_aИнтегральные схемы _jУчебные издания для высших учебных заведений _xПроизводство _91235370 _3RU\NLR\AUTH\66186470 |
||
| 606 |
_aКремний _jУчебные издания для высших учебных заведений _xНаноструктуры _92103597 _3RU\NLR\AUTH\661575612 |
||
| 675 | _a621.38 | ||
| 686 | 1 | _aЗ843.322.4я73-1 | |
| 686 | 1 | _aЗ844.15-06я73-1 | |
| 700 | 1 |
_aДанилина _bТ. И. _gТамара Ивановна |
|
| 701 | 1 |
_aКагадей _bВ. А. _gВалерий Алексеевич |
|
| 701 | 1 |
_aАнищенко _bЕ. В. _gЕкатерина Валентиновна |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bРГБ _c20160324 _gRCR |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNBR | ||