000 01709nam0a2200385 4500
001 RU\NLR\BIBL_A\012377011
005 20201119161443.0
010 _a978-5-7256-0923-3
_9100
021 _aRU
_bКН-П-20-021459
_9КН-П-20-1672
035 _a(NLR Aleph) 012377011
035 _a(RuMoRGB)010321938
090 _a11605125
_c11605125
100 _a20201014d2019 k y0rusy50 ca
101 0 _aeng
102 _aRU
105 _aa j 000zy
181 0 _ai
_baxxe
182 0 _an
200 1 _aMicro- electro-mechanical system
_dМЭМС - микроэлектромеханические системы
_etraining manual
_fN. E. Korobova & L. R. Boev
_gedited by doctor of technical sciences S. P. Timoshenkov
_gMinistry of science and higher education, National research university of electronic technology - MIET
_zrus
203 _aТекст
_bвизуальный
_cнепосредственный
210 _aMoscow
_cMIET
_d2019
215 _a156 с.
_cил.
_d20
320 _aБиблиогр.: с. 154
510 1 _6z45790
_aМЭМС - микроэлектромеханические системы
_zrus
606 1 _aМикроэлектромеханические системы
_jУчебные издания
_2nlr_sh2
_3RU\NLR\AUTH\661573435
686 1 _aЗ26я7
686 1 _aЗ291я7
700 1 _aKorobova
_bN. E.
_gNatal'ja Egorovna
_3RU\NLR\AUTH\770273917
701 1 _aBoev
_bL. R.
_gLeonid Romanovič
790 1 _6z45
_aКоробова
_bН. Е.
_gНаталья Егоровна
_3RU\NLR\AUTH\770273916
790 1 _6z45510
_aБоев
_bЛ. Р.
_gЛеонид Романович
942 _cBOOK
980 _aNB