| 000 | 01709nam0a2200385 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\BIBL_A\012377011 | ||
| 005 | 20201119161443.0 | ||
| 010 |
_a978-5-7256-0923-3 _9100 |
||
| 021 |
_aRU _bКН-П-20-021459 _9КН-П-20-1672 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 012377011 | ||
| 035 | _a(RuMoRGB)010321938 | ||
| 090 |
_a11605125 _c11605125 |
||
| 100 | _a20201014d2019 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _aeng | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa j 000zy | ||
| 181 | 0 |
_ai _baxxe |
|
| 182 | 0 | _an | |
| 200 | 1 |
_aMicro- electro-mechanical system _dМЭМС - микроэлектромеханические системы _etraining manual _fN. E. Korobova & L. R. Boev _gedited by doctor of technical sciences S. P. Timoshenkov _gMinistry of science and higher education, National research university of electronic technology - MIET _zrus |
|
| 203 |
_aТекст _bвизуальный _cнепосредственный |
||
| 210 |
_aMoscow _cMIET _d2019 |
||
| 215 |
_a156 с. _cил. _d20 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 154 | ||
| 510 | 1 |
_6z45790 _aМЭМС - микроэлектромеханические системы _zrus |
|
| 606 | 1 |
_aМикроэлектромеханические системы _jУчебные издания _2nlr_sh2 _3RU\NLR\AUTH\661573435 |
|
| 686 | 1 | _aЗ26я7 | |
| 686 | 1 | _aЗ291я7 | |
| 700 | 1 |
_aKorobova _bN. E. _gNatal'ja Egorovna _3RU\NLR\AUTH\770273917 |
|
| 701 | 1 |
_aBoev _bL. R. _gLeonid Romanovič |
|
| 790 | 1 |
_6z45 _aКоробова _bН. Е. _gНаталья Егоровна _3RU\NLR\AUTH\770273916 |
|
| 790 | 1 |
_6z45510 _aБоев _bЛ. Р. _gЛеонид Романович |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||