000 01690nam0a2200313 4500
001 RU\NLR\bibl\1116982
005 20260407102050.0
010 _a978-5-7256-0450-4
_960
021 _aRU
_b2007-44407
_92372
035 _a(NLR Aleph) 001103982
090 _a1196022
_c1196022
100 _a20070813d2007 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aЭлементы микросистемной техники, оборудование и технология их производства
_eсборник научных трудов
_fМ-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Моск. гос. ин-т электр. техники (техн. ун-т)
_gпод ред. д.т.н., проф. С.П. Тимошенкова
210 _aМосква
_cМосковский государственный институт электронной техники
_d2007
215 _a144 с.
_cил.
_d21
225 1 _aПриоритетные национальные проекты
_iОбразование
320 _aБиблиогр. в конце ст.
606 1 _aМикросистемная техника
_jСборники
_xПроизводство
_92483222
_3RU\NLR\auth\661473947
686 _aЗ844.1-06я43
702 1 _aТимошенкова
_bС. П.
_4340
712 0 2 _4570
_aМосковский государственный институт электронной техники
_9355333
_3RU\NLR\AUTH\889929878
801 0 _aRU
_bNLR
_c20070813
_gRCR
801 1 _aRU
_bNLR
_c20070813
942 _cBOOK
980 _aNB