| 000 | 01851nam0a2200349 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\BIBL_A\011494978 | ||
| 005 | 20241103094718.0 | ||
| 010 | _a9785915592154 | ||
| 035 | _a(NILC)LIBNET\0000673284 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 011494978 | ||
| 090 |
_a11966519 _c11966519 |
||
| 100 | _a20171012d2016 y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _ay z 000 y | ||
| 200 | 1 |
_aНанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование _e[учебно-справочное руководство] _fВ. Ю. Киреев |
|
| 210 |
_aДолгопрудный _cИнтеллект _d2016 |
||
| 215 |
_a319 с. _cил. _d22 |
||
| 313 | _aРасмотрены основные виды процессов нанолитографии в производстве интегральных приборов, схем и систем с субстананометровыми топологическими нормами | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 314-319 (111 назв.) | ||
| 517 | 0 |
_aНанолитография - процессы и оборудование _zrus |
|
| 606 | 1 |
_aИнтегральные схемы _xПроизводство _xПрименение литографии _jРуководства, пособия и т.п. _2nlr_sh1 _2nlr_sh2 _3RU\NLR\AUTH\661435294 _92408667 |
|
| 606 |
_aНанолитография _jРуководства, пособия и т.п _2nlr_sh2 _3RU\NLR\AUTH\6601591075 _92272968 |
||
| 686 |
_a30.36я73 _vLBC/M _2rubbk |
||
| 686 | 1 | _aЗ844.15-06я7-1 | |
| 686 | 1 | _aМ831я7-1 | |
| 700 | 1 |
_aКиреев _bВ. Ю. _f1949- _gВалерий Юрьевич |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bТюменская ОНБ _c20160620 _grcr |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNBR | ||