| 000 | 02246nam0a2200349 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\1117178 | ||
| 005 | 20250615063717.0 | ||
| 010 |
_a5-7256-0410-1 _9100 |
||
| 021 |
_aRU _b2007-44318 _92368 |
||
| 035 | _a(nilc)RSL-KNO-003143163 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 001104177 | ||
| 090 |
_a1197196 _c1197196 |
||
| 100 | _a20070711d2006 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aМатериалы и процессы формирования систем металлизации кремниевых интегральных схем _eучебное пособие _eдля студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" _fД.Г. Громов, А.И. Молчалов _gМ-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т) |
|
| 210 |
_aМосква _cМИЭТ _d2006 |
||
| 215 |
_a179 с. _cил., табл. _d20 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 166-176 (159 назв.) | ||
| 606 | 1 |
_aИнтегральные схемы _jУчебные издания для высших учебных заведений _xМеталлизация _92482209 _3RU\NLR\auth\661473414 |
|
| 610 | 0 | _aРадиоэлектроника -- Радиотехника -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Большие и сверхбольшие интегральные схемы -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Выбор технологического варианта | |
| 686 |
_aЗ844.152-060.7-642,0 _2rubbk |
||
| 686 | _aЗ844.15-060.7я73-1 | ||
| 700 | 1 |
_aГромов _bД. Г. _gДмитрий Геннадьевич _4070 |
|
| 701 | 1 |
_aМочалов _bА. И. _gАлексей Иванович _4070 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bРКП _c20070711 _grcr |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bРГБ _c20070711 |
|
| 801 | 2 |
_aRU _bNLR _c20070814 _grcr |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||