| 000 | 02426nam1a2200361 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\BIBL_A\012124620 | ||
| 005 | 20260409075519.0 | ||
| 010 | _a9785946271851 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 012124620 | ||
| 090 |
_a12011861 _c12011861 |
||
| 100 | _a20191021d2019 k y0rusy50 ba | ||
| 101 | 0 |
_aeng _arus |
|
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _a||||z ||||| | ||
| 200 | 1 |
_aProblems of advanced micro-and nanoelectronic systems development - 2018 _eVIII All-Russia science & technology conference _eselected articles _f[chief editor: Alexander L. Stempkovsky, academician of RAS, Doctor of science, Professor] |
|
| 210 |
_aМосква _cFederal state budget science institute for design problems in microelectronics of Russian academy of sciences _cМанускрипт _d2019 |
||
| 215 | _d29 | ||
| 300 | _aНа обл. загл. также на рус. яз.: Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС): сборник избранных трудов на английском языке VIII Всероссийской научно-технической конференции МЭС-2018 | ||
| 300 | _aПредисл. на англ. и рус. яз. | ||
| 300 | _aНа обл.: ISSN 2078-7707 | ||
| 320 | _aБиблиогр. в конце ст. | ||
| 320 | _aУказ. в конце томов | ||
| 512 | 1 |
_aПроблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС) _eсборник избранных трудов на английском языке VIII Всероссийской научно-технической конференции МЭС-2018 |
|
| 606 |
_aМикроэлектроника _jСъезды, совещания и т.п _92094897 _3RU\NLR\AUTH\661267605 |
||
| 606 |
_aНаноэлектроника _jСъезды, совещания и т.п _3RU\NLR\AUTH\661468617 _92473046 |
||
| 686 | 1 | _aЗ844.1я431(2) | |
| 702 | 1 |
_4340 _7ba _8rus _aStempkovskij _bA. L. _f1950- _gAleksandr Leonidovič _9184254 _3RU\NLR\AUTH\770184305 |
|
| 711 | 1 | 2 |
_7ba _8eng _a"Problems of advanced micro- and nanoelectronic systems development - 2018", All-Russia science and technology conference _d8 _eMoscow _9683638 _3RU\NLR\AUTH\880511538 |
| 852 |
_aNLR _jИк 2019-8/195 |
||
| 942 | _cBOOK | ||