| 000 | 02543nam1a2200373 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\BIBL_A\011505564 | ||
| 005 | 20260409075519.0 | ||
| 010 |
_a9785946271141 _9125 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 011505564 | ||
| 090 |
_a12017870 _c12017870 |
||
| 100 | _a20171024d2017 k y0rusy50 ba | ||
| 101 | 0 |
_aeng _arus _drus |
|
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _a||||z ||||| | ||
| 200 | 1 |
_aProblems of advanced micro- and nanoelectronic systems development - 2016 _eVII All-Russia science & technology conference _eselected articles _forganizer Institute for design problems in microelectronics of RAS _g[chief editor Alexander L. Stempkovsky, Academician of RAS, D.Sc., Prof.] |
|
| 210 |
_aМосква _cInstitute for design problems in microelectronics of Russian academy of sciences _cМанускрипт _d2017 |
||
| 300 | _aНа обл. загл. также на рус. яз.: Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС): сборник избранных трудов на английском языке VII Всероссийской научно-технической конференции МЭС-2016 | ||
| 300 | _aНа обл.: ISSN 2078-7707 | ||
| 300 | _aТекст предисл. парал. на рус. и англ. яз. | ||
| 300 | _aРез. на рус. яз. | ||
| 313 | _aПо пред.изд. 2015г | ||
| 320 | _aБиблиогр. в конце ст. | ||
| 320 | _aУказ. в конце томов | ||
| 512 | 1 |
_aПроблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС) _eсборник избранных трудов на английском языке VII Всероссийской научно-технической конференции МЭС-2016 |
|
| 606 |
_aМикроэлектроника _jСъезды, совещания и т.п _92094897 _3RU\NLR\AUTH\661267605 |
||
| 606 |
_aНаноэлектроника _jСъезды, совещания и т.п _3RU\NLR\AUTH\661468617 _92473046 |
||
| 686 | 1 | _aЗ844.1я431(2) | |
| 702 | 1 |
_4340 _7ba _8rus _aStempkovskij _bA. L. _f1950- _gAleksandr Leonidovič _9184254 _3RU\NLR\AUTH\770184305 |
|
| 711 | 1 | 2 |
_7ba _8eng _a"Problems of advanced micro- and nanoelectronic systems development - 2016", All-Russia science and technology conference _d7 _eMoscow _9579556 _3RU\NLR\AUTH\880458270 |
| 852 |
_aNLR _j2017-8/170 |
||
| 942 | _cBOOK | ||