000			02886nam2a2200289 4500
001			RU\NLR\BIBL_A\011516905
005			20250703064835.0
010			_a9785292043935 _9100
021			_aRU _b2017-76555 _95467
090			_a12076566 _c12076566
100			_a20171107d2016 u y0rusy50 ca
101	0		_arus
102			_aRU
105			_aa j 000zy
200	0		_aЧ. 2 _e[по направлениям "Физика и астрономия", "Информатика и вычислительная техника", "Электроника, радиотехника и системы связи", "Фотоника, приборостроение, оптические и биотехнические системы и технологии", "Технологии материалов", "Управление в технических системах"] _fСаратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н.Г. Чернышевского
210			_d2016
215			_a114, [1] с. _cил.
320			_aБиблиогр. в конце разд.
461		0	_911795268 _aСарат. гос. ун-т им. Н.Г. Чернышевского _cСаратов _d2014 _nИзд-во Саратовского университета _oучебное пособие для студентов, магистрантов и аспирантов направлений "Электроника и наноэлектроника", "Материаловедение и технологии материалов", "Биотехнические системы и технологии" : в 2 ч. _tМетоды и средства контроля процессов и структур in situ _y9785292042822 _vЧ. 2
712	0	2	_aСаратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н. Г. Чернышевского _kО 2П _3RU\NLR\AUTH\880428088 _4475 _9520734
852			_aNLR _j2016-3/17573
942			_cBOOK
943			_oPUBLIC _pTEX_48086
983	0	1	_aКА ЕМ