| 000 | 02143nam0a2200349 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\BIBL_A\012471044 | ||
| 005 | 20211209122714.0 | ||
| 010 |
_a978-5-7038-5350-4 _9100 |
||
| 021 |
_aRU _bКН-П-20-069079 _9КН-П-20-5203 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 012471044 | ||
| 035 | _a(RuMoRGB)010471535 | ||
| 090 |
_a12079740 _c12079740 |
||
| 100 | _a20210311d2020 u y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa|||j|||000zy | ||
| 181 | 0 |
_ai3 _baxxe |
|
| 182 | 0 | _an | |
| 200 | 1 |
_aФормирование функциональных слоев _eучебное пособие _eдля студентов, обучающихся по направлениям "Наноинженерия" и "Электроника и наноэлектроника" _fЮ.В. Панфилов _gФедеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)", Факультет "Машиностроительные технологиии", Кафедра "Электронные технологии в машиностроении" |
|
| 203 |
_aТекст _bвизуальный _cнепосредственный |
||
| 210 |
_aМосква _cИзд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана _d2020 |
||
| 215 |
_a90, [2] с. _cил., табл. _d24 |
||
| 225 | 1 | _aУчебное пособие МГТУ им. Н.Э. Баумана | |
| 320 | _aБиблиогр.: с. 89 | ||
| 606 | 1 |
_aТонкие пленки _jУчебные издания для высших учебных заведений _xНанесение в вакууме _91835711 _3RU\NLR\AUTH\661122354 |
|
| 686 | 1 | _aЗ844.13-060.7я73-1 | |
| 700 | 1 |
_aПанфилов _bЮ. В. _gЮрий Васильевич |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNBR | ||
| 980 | _aNB | ||