| 000 | 02206nam0a2200349 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\BIBL_A\011529018 | ||
| 005 | 20250626084437.0 | ||
| 010 |
_a978-5-901585-00-9 _930 |
||
| 021 |
_aRU _b2017-79555 _95676 |
||
| 035 | _a(RuMoRGB)009427380 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 011529018 | ||
| 090 |
_a12135959 _c12135959 |
||
| 100 | _a20171117d2017 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa|||zzzz0|1yy | ||
| 200 | 1 |
_aФизико-технологические принципы формирования микроэлектронных приборных структур с заданными свойствами _eмонография _fМ. Г. Мустафаев, Д. Г. Мустафаева, Г. А. Мустафаев _gМинистерство образования и науки РФ, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Северо-Кавказский горно-металлургический институт (государственный технологический университет)" |
|
| 210 |
_aВладикавказ _cТерек _d2017 |
||
| 215 |
_a167 с. _cил., табл. _d21 |
||
| 313 | _aТехнологические процессы производства элементов интегральной электроники | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 147-167 (319 назв.) | ||
| 606 | 1 |
_aИнтегральные схемы _xПроизводство _xТехнологические процессы _92182712 _3RU\NLR\AUTH\6601548943 |
|
| 606 | 1 |
_aИнтегральные схемы _xПроизводство _xФизические основы _92141918 _3RU\NLR\AUTH\661290898 |
|
| 686 |
_aЗ844.15-060.6-64,0 _2rubbk |
||
| 686 | 1 | _aЗ844.15-06 | |
| 700 | 1 |
_aМустафаев _bМ. Г. _gМарат Гусейнович |
|
| 701 | 1 |
_aМустафаева _bД. Г. _gДжамиля Гусейновна |
|
| 701 | 1 |
_aМустафаев _bГ. А. _gГусейн Абакарович |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||