000 01561nam2a2200241 4500
001 RU\NLR\BIBL_A\012175301
005 20250623221614.0
035 _a(NLR Aleph) 012175301
090 _a12259392
_c12259392
100 _a20191230d2019 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
200 1 _aМеждународный форум "Микроэлектроника-2018". 4-я Международная научная конференция "Электронная компонентная база и микроэлектронные модули", Республика Крым, г. Алушта, 1-6 октября 2018 г.
_eсборник докладов
210 _d2019
_aБ. м.
461 0 _1001RU\NLR\Per\556718
_12001#$aНаноиндустрия$eнаучно-технический журнал$v2019, спецвып. (89)
_93071390
_cМосква
_d2007 -
_nВолна
_oнаучно-технический журнал
_tНаноиндустрия
_x1993-8578
_v2019, спецвып. (89)
710 1 2 _a"Микроэлектроника-2018", международный форум
_eАлушта
_9690574
_3RU\NLR\AUTH\880514963
711 1 2 _a"Электронная компонентная база и микроэлектронные модули", международная научная конференция
_d4
_eАлушта
_f2018
_9690576
_3RU\NLR\AUTH\880514964
852 _aNLR
_jП11/5443
942 _cISSUE
980 _aNB
980 _aRUSPER