000 02707nam0a2200409 4500
001 RU\NLR\BIBL_A\012515282
005 20210915100451.0
010 _a978-5-9273-2912-0
_9100
021 _aRU
_bКН-П-20-085527
_9КН-П-20-6508
035 _a(NLR Aleph) 012515282
035 _a(RuMoRGB)010531328
090 _a12299954
_c12299954
100 _a20210511d2019 u y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa|||j|||000zy
181 0 _ai
_baxxe
182 0 _an
200 1 _aРентгеновская спектроскопия для исследования состава и структуры пористого кремния
_eучебное пособие
_eдля студентов, изучающих дисциплины "Рентгеновская и электронная спектроскопия", "Методы диагностики и анализа микро- и наносистем", "Синхротронные исследования наноструктур и наноматериалов", "Основные материалы наноэлектроники"
_fС.Ю. Турищев, В.А. Терехов, О.А. Чувенкова [и др.]
_gМинистерство науки и высшего образования РФ, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Воронежский государственный университет"
203 _aТекст
_bвизуальный
_cнепосредственный
210 _aВоронеж
_cИздательский дом ВГУ
_d2019
215 _a99, [1] с.
_cил., табл.
_d20
300 _aАвт. указаны на обороте тит. с.
320 _aБиблиогр.: с. 89-99 (97 назв.)
606 1 _aКремний пористый
_jУчебные издания для высших учебных заведений
_xНаноструктуры
_xРентгеновская спектроскопия
_92479662
_3RU\NLR\AUTH\6601688720
686 1 _aЗ843.322.4-1с344я73-1
686 1 _aЛ253.2я73-1
701 1 _aТурищев
_bС. Ю.
_gСергей Юрьевич
701 1 _aТерехов
_bВ. А.
_gВладимир Андреевич
701 1 _aЧувенкова
_bО. А.
_gОльга Александровна
712 0 2 _4475
_aВоронежский государственный университет
_9339578
_3RU\NLR\AUTH\889921742
942 _cBOOK
980 _aNBR
980 _aNB