000			03411nam0a2200397 4500
001			RU\NLR\BIBL_A\012839051
005			20250624175928.0
010			_a978-5-7038-5813-4 _9189
021			_aRU _b2022-22836 _9КН-П-1955
035			_a(RuMoRGB)011042168
035			_a(NLR Aleph) 012839051
090			_a12389875 _c12389875
100			_a20220704d2022 |||y0rusy50 ca
101	0		_arus
102			_aRU
105			_aa j 000zy
181		0	_ai _baxxe
182		0	_an
200	1		_aРасчет вакуумных систем технологического оборудования _eучебно-методическое пособие _fЕ. А. Деулин, В. П. Михайлов, А. М. Базиненков _gФедеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет)", Факультет "Машиностроительные технологии", Кафедра "Электронные технологии в машиностроении"
203			_aТекст _bвизуальный _cнепосредственный
210			_aМосква _cИзд-во МГТУ _d2022 _eМосква
215			_a100, [1] с. _cил. _d21
225	1		_aУчебно-методическое пособие МГТУ им. Н. Э. Баумана
320			_aБиблиогр.: с. 74
330			_aРассмотрены методы выбора средств откачки и разработки принципиальных вакуумных схем. Приведены методика расчета длительности этапов откачки, построения технологических диаграмм и графиков изменения давления в приборе или технологической камере, а также методы расчета сорбционных процессов при определении длительности сверхвысоковакуумной и высоковакуумной откачки. Для самостоятельной работы и выполнения домашнего задания по дисциплине <Физика вакуума> студентами бакалавриата, обучающимися по направлениям подготовки <Электроника и наноэлектроника> и <Наноинженерия>
606	1		_aВакуумные системы _xРасчет _jУчебно-методические пособия для высших учебных заведений _2nlr_sh1 _2nlr_sh2 _3RU\NLR\AUTH\66186595
675			_a621.52(075.8) _v4
686			_a31.77я73 _2rubbks
686	1		_aЗ77-5-02я73-1
700		1	_aДеулин _bЕ. А. _gЕвгений Алексеевич
701		1	_aМихайлов _bВ. П. _cд-р техн. наук, электроника _gВалерий Павлович _3RU\NLR\AUTH\7734304
701		1	_aБазиненков _bА.М. _gАлексей Михайлович
942			_cBOOK
980			_aNB