| 000 | 01516nam0a2200349 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\1413089 | ||
| 005 | 20250615211824.0 | ||
| 021 |
_aRU _b2009-54594 _93367 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 001405066 | ||
| 090 |
_a1246777 _c1246777 |
||
| 100 | _a20090916d2008 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 |
_arus _deng |
|
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aУстановка для исследования процессов ионного распыления под влиянием пучков ионов средних энергий _fК. Пышняк, М. Турек, А. Дроздзель [и др.] |
|
| 210 |
_aДубна _cИздательский отдел Объединенного института ядерных исследований _d2008 |
||
| 215 |
_a7, [1] c. _cил. _d22 |
||
| 225 | 1 |
_aПрепринт _fОбъединенный ин-т ядер. исслед. _vР-13-2008-145 |
|
| 300 | _aРез. на англ. яз. | ||
| 313 | _aп/п промышленность | ||
| 320 | _aБиблиогр. в конце кн. (5 назв.) | ||
| 606 | 1 |
_aПолупроводниковые приборы _xПроизводство _xОборудование _91921992 _3RU\NLR\auth\66876845 |
|
| 686 | _aЗ852-06-5 | ||
| 701 | 1 |
_aПышняк _bК. _4070 |
|
| 701 | 1 |
_aТурек _bМ. _4070 |
|
| 701 | 1 |
_aДроздзель _bА. _4070 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _c20090916 _gRCR |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bNLR _c20090916 |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||
| 980 | _aNBR | ||