000 01599nam2a2200241 4500
001 RU\NLR\BIBL_A\012575227
005 20250624073011.0
035 _a(NLR Aleph) 012575227
090 _a12504110
_c12504110
100 _a20210805d2020 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
200 1 _aМеждународный форум "Микроэлектроника-2020", ч. 1. 6-я Международная конференция "Электронная компонентная база и микроэлектронные модули", Республика Крым, г. Ялта, 28 сентября - 3 октября 2020 г.
_eсборник докладов
210 _d2020
_aБ. м.
461 0 _1001RU\NLR\Per\556718
_12001#$aНаноиндустрия$eнаучно-технический журнал$vТ. 13, 5s (102), ч. 1
_93071390
_cМосква
_d2007 -
_nВолна
_oнаучно-технический журнал
_tНаноиндустрия
_x1993-8578
_vТ. 13, 5s (102), ч. 1
710 1 2 _a"Микроэлектроника-2020", международный форум
_eпгт. Гурзуф, Ялта
_9738614
_3RU\NLR\AUTH\880537645
711 1 2 _a"Электронная компонентная база и микроэлектронные модули", международная научная конференция
_d6
_eпгт. Гурзуф, Ялта
_f2020
_9761774
_3RU\NLR\AUTH\880548231
852 _aNLR
_jП11/5443
942 _cISSUE
980 _aNB
980 _aRUSPER